Основним компонентом аналізатора вологості та кисню є датчик кисню з оксиду цирконію. Цей датчик використовує електролітичні властивості кераміки з оксиду цирконію для створення електрорушійної сили на основі різниці парціального тиску кисню на датчику, що дозволяє вимірювати концентрацію кисню. Одночасно для точного визначення вмісту вологи в газі використовуються спеціальні методи вимірювання (такі як метод імпедансу, інфрачервоний метод тощо). Датчик зазвичай містить нагрівальний пристрій для запобігання конденсації водяної пари в газовій камері, забезпечуючи стабільні вимірювання в середовищах із високою-температурою та високою{5}}вологістю.
